產(chǎn)品中心
PRODUCTS CENTER
所屬分類：
美國(guó)泰克
美國(guó)吉時(shí)利
靜電計(jì) / 高阻表
產(chǎn)品詳細(xì)
主要特點(diǎn):
- 電阻測(cè)量可達(dá)1018 Ω
- 電流測(cè)量范圍10aA - 20mA
- 最小電流量程輸入端壓降<20μV
- 200TΩ 輸入阻抗
- <3fA 偏置電流
- 測(cè)試速率高達(dá)425 rdgs/s
- 噪聲0.75fA p-p
- 內(nèi)置±1kV電壓源
- 獨(dú)特的高電阻測(cè)量電壓反接方法
- 可選的插件式掃描卡
出眾的性能指標(biāo)
半機(jī)架型6517B靜電計(jì)/高阻表具有特殊的低 電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅 0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對(duì)于 接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測(cè)量的輸入 阻抗是200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測(cè)量所需的準(zhǔn)確 度和靈敏度。內(nèi)置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡(jiǎn)化漏流測(cè)試、擊穿電壓測(cè)試 和電阻測(cè)試，以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm) 及表面電阻率(Ω/square) 的測(cè)量。
測(cè)量范圍寬
6517B型靜電計(jì)/高阻表具有全自動(dòng)量程，超過(guò)電流、電阻、電壓和電荷測(cè)量滿量程：
• 電流測(cè)量范圍：10aA - 20mA
• 電壓測(cè)量范圍：1μV - 200V
• 電阻測(cè)量范圍：1Ω - 1018Ω
• 電荷測(cè)量范圍：1fC - 2μC
電壓
| 5½位量程 | 分辨率 | 準(zhǔn)確度 （1年）1 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+計(jì)數(shù)) |
溫度系數(shù) 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%讀數(shù)+計(jì)數(shù)) / °C |
| 2 V | 10 μV | 0.025 + 4 | 0.003 + 2 |
| 20 V | 100 μV | 0.025 + 3 | 0.002 + 1 |
| 200 V | 1 mV | 0.06 + 3 | 0.002 + 1 |
常模抑制比（NMRR）：2V和20V量程>60dB, 200V量程>55dB。
50Hz或60Hz2。
共態(tài)抑制比（CMRR）：直流時(shí)>120dB，50Hz或60Hz。
輸入阻抗：>200TΩ，并聯(lián)20pF電容，保護(hù)電容<2pF(1MΩ零檢查)。
前置放大器輸出端的小信號(hào)帶寬: 典型值100kHz (–3dB)。
注：
1. 適當(dāng)歸零時(shí)，5½位，1個(gè)PLC (電力線周期)，中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個(gè)讀數(shù)。
2. 線路同步。
電流
| 5½位量程 | 分辨率 | 準(zhǔn)確度 （1年）1 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+計(jì)數(shù)) |
溫度系數(shù) 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%讀數(shù)+計(jì)數(shù)) / °C |
| 20 pA | 100 aA2 | 1 + 30 | 0.1 + 5 |
| 200 pA | 1 fA2 | 1 + 5 | 0.1 + 1 |
| 2 nA | 10 fA | 0.2 + 30 | 0.1 + 2 |
| 20 nA | 100 fA | 0.2 + 5 | 0.03 + 1 |
| 200 nA | 1 pA | 0.2 + 5 | 0.03+ 1 |
| 2 μA | 10 pA | 0.1 + 10 | 0.005 + 2 |
| 20 μA | 10 pA | 0.1 + 5 | 0.005 + 1 |
| 200 μA | 1 nA | 0.1 + 5 | 0.005 + 1 |
| 2 mA | 10 nA | 0.1 + 10 | 0.008 + 2 |
| 20 mA | 100 nA | 0.1 + 5 | 0.008 + 1 |
輸入偏置電流：<3fA（典型值）。
溫度系數(shù) = 0.5fA/°C，20pA量程。
輸入偏置電流噪聲：<750aA p-p (capped input)，帶寬0.1Hz～10Hz， 阻尼。數(shù)字濾波器= 40讀數(shù)，量程20pA。
輸入電壓降（典型溫度±1°C）：
在20pA, 2nA, 20nA, 2μA與20μA量程時(shí)，<20μV。
在200pA, 200nA與200μA量程時(shí)，<100μV。
在2mA量程時(shí)，<.2mV。在20mA量程時(shí)，<5mV。
輸入電壓降溫度系數(shù)：在pA, nA與μA量程時(shí)，<10μV/°C。
前置放大器建立時(shí)間(達(dá)到最終值10%)典型值：在pA量程時(shí)， 為0.5s (阻尼關(guān)閉)和2.0 s (阻尼開啟)。在nA量程時(shí)，為15ms (阻尼關(guān)閉)；在μA量程時(shí)，為1ms (阻尼關(guān)閉)；在mA量程時(shí)， 為500μs (阻尼關(guān)閉)。
常模抑制比（NMRR）：在50Hz或60Hz3時(shí)，在各個(gè)量程均>60dB。
注：
1. 適當(dāng)歸零時(shí)，5½位，1個(gè)PLC (電力線周期)，中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個(gè)讀數(shù)。
2. aA = 10-18A，fA = 10-15A
3. 線路同步。
電阻(常規(guī)方法)
| 量程 | 5½位分辨率 | 準(zhǔn)確度 （10-100%量程） 18° - 28°C(1年) ±(%讀數(shù)+計(jì)數(shù)) |
溫度系數(shù) （10-100%量程） 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%讀數(shù)+計(jì)數(shù)) / °C |
自動(dòng)電壓源 | 電流量程 |
| 2 MΩ | 10 ? | 0.125 + 1 | 0.01 + 1 | 40 V | 200 µ A |
| 20 MΩ | 100 ? | 0.125 + 1 | 0.01 + 1 | 40 V | 20 µ A |
| 200 MΩ | 1 k ? | 0.15 + 1 | 0.015 + 1 | 40 V | 2 µ A |
| 2 GΩ | 10 k ? | 0.225 + 1 | 0.035 + 1 | 40 V | 200 n A |
| 20 GΩ | 100 k ? | 0.225 + 1 | 0.035 + 1 | 40 V | 20 n A |
| 200 GΩ | 1 M? | 0.35 + 1 | 0.110 + 1 | 40 V | 2 n A |
| 2 TΩ | 10 M? | 0.35 + 1 | 0.110 + 1 | 400 V | 2 n A |
| 20 TΩ | 100 M? | 1.025 + 1 | 0.105 + 1 | 400 V | 200 pA |
| 200 TΩ | 1 G? | 1.15 + 1 | 0.125 + 1 | 400 V | 20 pA |
注：
1. 自動(dòng)電壓源歐姆性能指標(biāo)，適當(dāng)歸零時(shí)，5½位，1個(gè)PLC (電力線周期)，中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個(gè)讀數(shù)。如果需要用戶可選電壓，請(qǐng)使用手動(dòng)模式。手動(dòng)模式顯示通過(guò)測(cè) 得電流計(jì)算出的電阻(高達(dá)1018Ω)。其準(zhǔn)確度等同于電壓源準(zhǔn)確度加選定電流量程的準(zhǔn)確度。
前置放大器建立時(shí)間：在電流性能指標(biāo)中，為前置放大器建立時(shí)間增加電壓源建立時(shí)間。
超過(guò)20GΩ的范圍需要根據(jù)載荷特性額外設(shè)定。
電阻(變換極性法)
變換極性序列可以補(bǔ)償待測(cè)材料或期間的背景（偏移）電流。最大容許偏移為所用電流量程 的滿刻度。
使用吉時(shí)利8009夾具
可靠性：ΔIBG × R/VALT + 0.1% (1σ) (儀器溫度常數(shù)±1°C)。
準(zhǔn)確度：(VSRCErr + IMEASErr × R)/VALT
其中：ΔIBG是測(cè)量得到的來(lái)自樣本和測(cè)試夾具的典型背景電流噪聲。
VALT是使用的變換極性電壓。
VSRCErr是使用VALT作為設(shè)置的電壓源準(zhǔn)確度(單位：V) 。
IMEASErr是使用作為VALT /R讀數(shù)的電流計(jì)準(zhǔn)確度(單位：A)。
電壓源
| 量程 | 5½位分辨率 | 準(zhǔn)確度 (1年) 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+計(jì)數(shù)) |
溫度系數(shù) 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%讀數(shù)+計(jì)數(shù)) / °C |
| 100V | 5 mV | 0.15 + 10 mV | 0.005 + 1 mV |
| 1000V | 50 mV | 0.15 + 100 mV | 0.005 + 10 mV |
最大輸出電流：
100V量程：±10mA, 在<14mA時(shí)，采取硬件短路電流保護(hù)。
1000V量程：±1mA, 在<1.4mA時(shí)，采取硬件短路電流保護(hù)。
建立時(shí)間：
100V量程：到達(dá)額定準(zhǔn)確度<8m s。
1000V量程：到達(dá)額定準(zhǔn)確度<50ms。
噪聲(典型值)：
100V量程：<2.6mV rms。
1000V量程：<2.9mV rms。
電荷
| 量程 | 5½位分辨率 | 準(zhǔn)確度 （1年）1,2 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+計(jì)數(shù)) |
溫度系數(shù) 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%讀數(shù)+計(jì)數(shù)) / °C |
| 2 nC | 10 fC | 0.4 + 5 | 0.04 + 3 |
| 20 nC | 100 fC | 0.4 + 5 | 0.04 + 1 |
| 200 nC | 1 pC | 0.4 + 5 | 0.04 + 1 |
| 2 μC | 10 pC | 0.4 + 5 | 0.04 + 1 |
注：
1. 性能指標(biāo)適用于電荷剛采集后。增加
|QAV| (4fA + _____ ) TA RC 其中，TA = 電荷歸零與測(cè)量之間的時(shí)間周期（單位：秒）
QAV = 在TA周期測(cè)得的平均電荷，RC = 300,000（典型值）。
2. 適當(dāng)歸零時(shí)，5½位，1個(gè)PLC (電力線周期)，中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個(gè)讀數(shù)。
輸入偏置電流: 典型值時(shí)，<4fA。溫度系數(shù)= 0.5fA/°C，量程2nC。
溫度（熱電偶）
| 熱電偶種 類 | 量程 | 準(zhǔn)確度 （1年）1 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+計(jì)數(shù)) |
| K | –25°C ～ 150°C | ±(0.3% + 1.5°C) |
注：1. 不包括探測(cè)誤差，Tcal ± 5°C, 1 PLC積分時(shí)間。
濕度
| 量程 | 準(zhǔn)確度 （1年）1 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+%RH)) |
| 0 - 100% | ±(0.3% + 1.5°C) |
注： 1. 必須增加濕度探測(cè)準(zhǔn)確度。對(duì)于6517-RH型，為±3% RH，探測(cè)環(huán)境溫度高達(dá)65°C， 不超過(guò)85°C。
6517B型靜電計(jì)/高阻表后面板
IEEE-488總線實(shí)現(xiàn)
實(shí)現(xiàn)：SCPI (IEEE-488.2, SCPI-1999.0)。
從觸發(fā)到完成讀數(shù)：150ms典型值，包括外部觸發(fā)器。
RS-232實(shí)現(xiàn)：支持：SCPI 1991.0。波特率: 300, 600, 1200, 2400,4800, 9600, 19.2k, 38.4k, 57.6k與115.2k。
流程控制：無(wú)，Xon/Xoff。
連接器：DB-9 TXD/RXD/GND。
公共指標(biāo)
過(guò)量程指示：當(dāng)讀數(shù)>105%量程時(shí)，顯示讀數(shù) “OVERFLOW”（超額）。對(duì)于 嚴(yán)重過(guò)量程情況，顯示 “OUT OF LIMIT”（超限）。
量程設(shè)置：自動(dòng)或手動(dòng)。
轉(zhuǎn)換時(shí)間：可選擇0.01PLC至10PLC。
最大輸入：250V峰值，直流至60Hz正弦波；對(duì)于mA量程，每分鐘最大值10s。
最大共模電壓(直流至60Hz正弦波)：靜電計(jì)，500V峰值；電壓源，750V峰值。
隔離(儀表公共端至底盤)：>1010Ω, <500pF。
輸入連接器：后面板包含3個(gè)三同軸電纜連接器。
2V模擬輸出：對(duì)滿量程輸入，為2V。在電壓模式下非反相，測(cè)量電流、電阻 或電荷時(shí)反相。輸出阻抗10kΩ。
峰值輸出：為電壓測(cè)量提供保護(hù)輸出。在電流和電荷模式下可以用作反相輸出 或外部反饋。
外部觸發(fā)器：TTL兼容的外部觸發(fā)器與靜電計(jì)。
保護(hù)：切換至可用電壓保護(hù)。
數(shù)字I/O與觸發(fā)線路：可用，參見使用手冊(cè)。
EMC：符合歐盟指令89/336/EEC, EN 61326-1。
安全：符合歐盟指令73/23/EEC, EN 61010-1。
讀數(shù)存儲(chǔ)：50,000。
讀數(shù)率：
至內(nèi)部緩存：425 讀數(shù)/秒1
至IEEE-488總線：400讀數(shù)/秒1,2
總線傳輸：3300讀數(shù)/秒2
1. 0.01PLC，數(shù)字濾波器關(guān)閉，前面板關(guān)閉，溫度+ RH關(guān)閉，線路同步關(guān)閉。
2.二進(jìn)制傳輸模式。
數(shù)字濾波器 ：中值 和平均。
環(huán)境：工 作：0 ～ 50°C；相對(duì)濕度70%非冷凝，最高35°C。
存儲(chǔ)：–25 ～ +65°C。
海拔：最高高出海 平面2000 m，符合EN 61010-1標(biāo)準(zhǔn)。
預(yù)熱：1小時(shí)至額定準(zhǔn)確度(關(guān)于推薦的程序，參見手冊(cè))。
電源：用戶可選擇100, 120, 220, 240VAC ±10%; 50/60Hz, 100VA最大值。
外形：箱體尺寸：90mm 高× 214mm 寬 × 369mm 長(zhǎng)(3½ in. × 8½ in.× 14½ in .)。
工作尺寸：從殼體前面到后面（包括電源線和IEEE-488連接器）：15.5 in。
凈重：5.4kg (11.8 lbs.)。
毛重：6.9kg (15.11 lbs.)。
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